Микрозонд — общепринятое название локального рентгеноспектрального микроанализа — метода определения состава вещества в малом объёме.

Принцип действия микрозонда следующий: генерируется пучок электронов, который собирается электромагнитными линзами в узкий пучок — электронный зонд. попадая в образец электроны выбивают электроны с оболочек атомов вещества, и вызывают рентгеновское излучение. Каждый элемент излучает на характерном для него наборе частот, и может быть по нему идентифицирован. Концентрации элементов определяются по интенсивности излучения.

Подготовка образцов

Для выполнения качественного микрозондового анализа поверхность образца должна быть отполирована и очищена. неровности приводят к нетипичному рассеиванию рентгеновских лучей и значительным ошибкам в определении концентрации элементов. Для того чтобы на поверхности образца не накапливался заряд, на него напыляют тонкую токопроводящую пленку, обычно углерод или золото.

Ограничения метода

1. Невозможно определить различные валентные состояния атомов.
2. Высокий предел обнаружения, можно определить концентрации элементов не ниже 0,05 %
3. Не определяются самые лёгкие элементы, с атомной массой меньше углерода

См. также

• Рентгеноспектральный анализ
• Рентгенофлуоресцентный анализ