Light-industry-up.ru

Экосистема промышленности

ФТИАН

31-07-2023

Физико-технологический институт РАН
(ФТИ РАН)
Международное название

FTI RAS

Основан

1988

Директор

Александр Александрович Орликовский

Расположение

Москва

Юридический адрес

117218 Москва, Нахимовский проспект 36/1

Сайт

http://www.ftian.ru

Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения нанотехнологий и информационных технологий Российской академии наук.

Директор — академик Александр Александрович Орликовский

Содержание

Научные подразделения

  • Лаборатория математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники (ММФТПМ)
  • Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов (МССП)
  • Лаборатория субмикронной литографии (СЛ)
  • Лаборатория физики поверхности и микроэлектронных структур (ФПМС)
  • Лаборатория физических основ квантовых вычислений

Проекты и исследования

  • Ионно-лучевые технологии
  • Плазмохимическое травление — технология создания элементов МЭМС и НЭМС

История ФТИАН

Cоздан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.

Первый директор института — академик Камиль Ахметович Валиев.

См. также

Ссылки

  • Физико-технологический институт (ФТИАН)
  • Кафедра физических и технологических проблем микроэлектроники на базе физико-технологического института

ФТИАН.

© 2014–2023 light-industry-up.ru, Россия, Краснодар, ул. Листопадная 53, +7 (861) 501-67-06