Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения нанотехнологий и информационных технологий Российской академии наук.

Директор — академик Александр Александрович Орликовский

Научные подразделения

• Лаборатория математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники (ММФТПМ)
• Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов (МССП)
• Лаборатория субмикронной литографии (СЛ)
• Лаборатория физики поверхности и микроэлектронных структур (ФПМС)
• Лаборатория физических основ квантовых вычислений

Проекты и исследования

• Ионно-лучевые технологии
• Плазмохимическое травление — технология создания элементов МЭМС и НЭМС

История ФТИАН

Cоздан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.

Первый директор института — академик Камиль Ахметович Валиев.

См. также

• Ярославский филиал Физико-технологического института РАН

Ссылки

• Физико-технологический институт (ФТИАН)
• Кафедра физических и технологических проблем микроэлектроники на базе физико-технологического института