Степпер (англ. stepper) — установка, использующаяся при изготовлении полупроводниковых интегральных схем. На них проводится важный этап проекционной фотолитографии — засветка фоторезиста через маску. Принцип работы схож с Диапроекторами и Фотоувеличителями, однако степперы уменьшают изображение с маски. В процессе работы степпера рисунок с маски многократно переводится в рисунок на различных частях полупроводниковой пластины.

Также могут называться «установки проекционного экспонирования и мультипликации», «проекционная система фотолитографии», «проекционная литографическая установка», «установка совмещения и экспонирования»

Работа степпера над каждой полупроводниковой пластиной состоит из двух этапов:

• позиционирование
• Экспонирование

Свое название степпер (от англ. step — шаг) получил из-за того, что каждое экспонирование производится небольшими прямоугольными участками (порядка нескольких см²); для экспонирования всей пластины ее передвигают шагами, кратными размеру экспонируемой области. После каждого передвижения проводится дополнительная проверка правильности позиционирования.

Современные литографические установки могут использовать не шаговый, а сканирующий режим работы; они называются «сканнеры». При экспонировании передвигаются в противоположных направлениях и пластина и маска. Луч света имеет форму линии или сильно вытянутого прямоугольника (например использовались лучи с сечением 9x25 мм для экспонирвоания масок размером 35x25 мм).

В конце 2010-ых ширина полосы засвета составляла около 24 мм, а размеры маски - около 12х18 см.

Интерфейсы

Для загрузки и выгрузки пластин, а иногда и масок, современные степперы используют SMIF и FOUP-порты.

Рынок

М. Макушин приводит следующие характеристики рынка литографического оборудования в 2010 году^[1]

Разработчики и производители степперов

Мировые лидеры:^[1]

• ASML (51 % в 2009 году, 43 % в 2008 году)
• Nikon (39 % в 2009 году, 29 % в 2008 году)
• Canon (9 % в 2009 году, 28 % в 2008 году)

Примечания

Ссылки

• Тасит Мурки, Закон Мура против нанометров. Всё, что вы хотели знать о микроэлектронике, но почему-то не узнали… // ixbt.com