ASML — нидерландская компания, являющаяся одним из крупнейших производителей фотолитографических систем для микроэлектронной промышленности. Компания производит оборудование для изготовления СБИС, таких как чипы памяти RAM, флеш-память, микропроцессоры.

Продукция

Фотолитографические установки ASML используются в производстве интегральных микросхем. В таких установках происходит процесс оптического проецирование специальных частично прозрачных шаблонов (масок) на поверхность полупроводниковой пластины, покрытую тонкой пленкой светочувствительного материала (фоторезиста). Для каждой пластины эта процедура повторяется несколько десятков раз. После каждого проецирования происходит обработка пластины с нанесенным фоторезистом, в процессе которой формируются электронные структуры микросхем. Оптический метод, применяемый в установках ASML, используется в настоящее время для производства практически всех интегральных схем. На 2007 год, ASML имеет долю рынка продаж фотолитографического оборудования в 65 % (во всем мире)^[2]. Конкурентами компании являются Canon и Nikon. На 2008 год, установка ASML высшего класса Twinscan XT:1950 может использоваться с техпроцессами вплоть до 38нм^[3] со скоростью 131 пластина в час. В установке используется иммерсионная литография с водяной прослойкой и аргон-фторидный (argon-fluoride, ArF) эксимерный лазер с длиной волны 193 нм. На тот же момент, в среднем, литографическая установка стоила 22 млн евро.^[3] В 2009 году, ASML разрабатывала установки с лазерами на 13.5 нм (EUVL). 22 Апреля 2009, бельгийский исследовательский центр Imec представил работоспособные чипы КПОМ SRAM выполненные по техпроцессу 22 нм на прототипе установки ASML с EUVL.^[4]

Компания

ASML центральный офис компании находится в Veldhoven, Нидерланды. Там же находятся исследовательские и производственные подразделения. Клиенты ASML находятся в различных странах, компания имеет более 60 пунктов обслуживания в 16 странах. Акции компании торгуются на AEX и NASDAQ под названием ASML.

Компания, изначально называвшаяся ASM Lithography^[5] была основана в 1984 как совместное предприятие компаний Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) и Philips. В настоящее время только небольшая часть акций принадлежит Philips.^[6]

Российские пользователи

В России использование степперов (литографов) ASML планировалось (по состоянию на 2008 год) на фабрике Ангстрем-Т^[7]

Среди пользователей ASML также можно отметить НИИСИ, который использует установку проекционной пошаговой мультипликации (степпер) ASML PAS 5500/250С.^[8][9]

Примечания